??擴(kuò)散泵:這些氣體噴射泵使用加熱的油,該油會沸騰并捕獲氣態(tài)分子,并推動其他顆粒并產(chǎn)生真空。他們使用硅油或聚苯醚,這可能很昂貴。即使這樣,這些泵仍是辛勤工作且高度可靠。
??旋片泵:這些高性能泵往往是較便宜的選擇,但它們也使用機(jī)油,這會增加成本。它們可以達(dá)到極限真空度并具有可變的排量,但確實需要定期維護(hù)以使其長期運行。
??隔膜泵:隔膜泵不使用油,因此,它們耐腐蝕并且?guī)缀醪恍枰S護(hù),結(jié)果,它們的成本更高。
??混合泵:這些泵既有隔膜泵又有旋轉(zhuǎn)葉片。隔膜對泵旋轉(zhuǎn)部分的油保持負(fù)壓,防止溶劑或污染物在油中冷凝。結(jié)果,這些泵中的機(jī)油使用壽命比其他機(jī)油泵長10倍。它們的維護(hù)成本低且耐腐蝕,因此,盡管它們的成本更高,但隨著時間的推移它們往往會節(jié)省成本。
??渦旋泵:渦旋泵是使用螺旋渦旋壓縮空氣蒸汽的干式泵。由于它們無油,因此幾乎不需要維護(hù)。但是,它們確實需要較高的前期成本。每使用40000小時,也需要更換卷軸。